[发明专利]一种表面平坦度测量装置及方法在审
| 申请号： | 201811395350.7 | 申请日： | 2018-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN109341606A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 张进朋 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明揭露一种表面平坦度测量装置及方法，通过激光非接触式测量，测量精度可达到0.001mm，测量精度高，重复测量误差可控制在3um以内，测量误差小，避免了现有技术采用人工手动测量所造成的测量精度低、测量误差大的问题。同时，本发明测量数据可以自动记录和保存，可进行大批次待测板的测量，避免了现有技术测量数据需要人工手动记录，测量数据无法上传的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 表面平坦度测量 测量数据 人工手动 非接触式测量 测量精度高 技术采用 技术测量 数据需要 重复测量 自动记录 待测板 可控制 上传 激光 保存 记录 | ||
【主权项】：
1.一种表面平坦度测量装置，其特征在于，所述装置包括：测量平台，用于放置待测板，所述待测板表面标记有多个待测点；至少一激光头，用于发射激光至一所述待测点并接收反射光；计算机，用于控制所述激光头移动至不同待测点并控制所述激光头发射激光，以获取所有所述待测点的高度测量值，所述计算机进一步根据所获取的所有所述高度测量值中的3个高度测量值对应的待测点确定一个基准平面，分别计算出所有高度测量值中的剩下的高度测量值对应的待测点到所述基准平面的距离值，获取所有距离值中的最大值作为所述待测板的表面平坦度测量值。
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