[发明专利]一种表面平坦度测量装置及方法在审
| 申请号： | 201811395350.7 | 申请日： | 2018-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN109341606A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 张进朋 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测量 表面平坦度测量 测量数据 人工手动 非接触式测量 测量精度高 技术采用 技术测量 数据需要 重复测量 自动记录 待测板 可控制 上传 激光 保存 记录 | ||
1.一种表面平坦度测量装置，其特征在于，所述装置包括：
测量平台，用于放置待测板，所述待测板表面标记有多个待测点；
至少一激光头，用于发射激光至一所述待测点并接收反射光；
计算机，用于控制所述激光头移动至不同待测点并控制所述激光头发射激光，以获取所有所述待测点的高度测量值，所述计算机进一步根据所获取的所有所述高度测量值中的3个高度测量值对应的待测点确定一个基准平面，分别计算出所有高度测量值中的剩下的高度测量值对应的待测点到所述基准平面的距离值，获取所有距离值中的最大值作为所述待测板的表面平坦度测量值。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置进一步包括多个激光头，每一所述激光头对应一所述待测点，所有所述激光头用于发射激光至相应的待测点并接收反射光。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述待测点的数量为8个，前4个所述待测点分布在所述待测板表面靠近边缘区域，后4个所述待测点分布在所述待测板表面靠近中心区域。
4.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述计算机进一步根据所获取的所有所述高度测量值中的前3个高度测量值对应的待测点确定一个基准平面，分别计算出所有高度测量值中的剩下的5个高度测量值对应的待测点到所述基准平面的距离值，获取所有距离值中的最大值作为所述表面平坦度测量值。
5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述计算机进一步用于将所述表面平坦度测量值进行记录并保存。
6.一种表面平坦度测量方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
(1)将待测板放置在测量平台上，所述待测板表面标记有多个待测点；
(2)通过计算机控制一激光头移动至不同待测点并控制所述激光头发射激光，以获取所有所述待测点的高度测量值；
(3)通过所述计算机根据所获取的所有所述高度测量值中的3个高度测量值对应的待测点确定一个基准平面，分别计算出所有高度测量值中的剩下的高度测量值对应的待测点到所述基准平面的距离值；
(4)通过所述计算机获取所有距离值中的最大值作为所述待测板的表面平坦度测量值。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，步骤(2)进一步包括：
通过所述计算机控制多个激光头发射激光至所述多个待测点，以获取所有所述待测点的高度测量值。
8.如权利要求6所述的方法，其特征在于，步骤(2)进一步包括：通过所述计算机获取所述激光头到所述待测点的光程差，计算出所述待测点的高度测量值。
9.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述待测点的数量为8个，前4个所述待测点分布在所述待测板表面靠近边缘区域，后4个所述待测点分布在所述待测板表面靠近中心区域；步骤(3)进一步包括：通过所述计算机根据所获取的所有所述高度测量值中的前3个高度测量值对应的待测点确定一个基准平面，分别计算出所有高度测量值中的剩下的5个高度测量值对应的待测点到所述基准平面的距离值。
10.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法进一步包括：
(5)通过所述计算机将所述表面平坦度测量值进行记录并保存。
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