[发明专利]多通道3D纳米纹理模具的制备方法

摘要

一种多通道3D纳米纹理模具的制备方法，步骤包括：在PET光刻材料上涂上光刻胶，然后进入不锈钢无尘炉进行烘干备用；在PET光刻材料的生胶面上放上mask图纹版，抽真空进行光刻，光刻完成后，取出mask图纹版，取配好的显影液放入清洗盒中，然后把光刻完成的PET光刻材料放入清洗盒中进行清洗，使其图纹在PET光刻材料上显示出来，脱水甩干得到第一层纹理；然后进行第二层纹理光刻处理，与上述第一层类似，实现第二次纹理的处理叠加,得到多通道3D纳米纹理模具。具有制作工艺简单，成本低，同时还能重复使用，且可以实现多个纹理叠加、获得更好的纹理呈现效果，提高工作效率的优点。

主权项

1.一种多通道3D纳米纹理模具的制备方法，其特征在于：具体操作步骤包括：(1)在PET光刻材料上涂上光刻胶，然后进入不锈钢无尘炉进行烘干备用；(2)第一层纹理光刻处理，具体包括：(2.1)在PET光刻材料的生胶面上放上mask图纹版；(2.2)将放置好的mask图纹版的PET光刻材料放入到光刻机上，然后打开真空泵，进行抽真空；(2.3)根据mask图纹版的精细度、调节设置光刻时间，然后进行光刻；(2.4)光刻完成后，取出mask图纹版下一次备用；(2.5)取配好的显影液放入清洗盒中，然后把光刻完成的PET光刻材料放入清洗盒中进行清洗，使其图纹在PET光刻材料上显示出来；(2.6)把步骤(2.5)清洗完成的PET光刻材料放入到真空环境中，打开脱水机将PET光刻材料的水分进行甩干；(3)第二层纹理光刻处理，具体包括：(3.1)在第一层纹理处理完成后的光刻PET光刻材料上再涂一层光刻胶，然后进入不锈钢无尘炉进行烘干备用；(3.2)在步骤(3.1)烘干后的PET光刻材料涂胶的一面上再放上第二种mask图纹版；(3.3)将放置好第二种mask图纹版的PET光刻材料放入到光刻机上，然后打开真空泵，进行抽真空；(3.4)根据第二种mask图纹版的精细度、调节设置光刻时间，然后进行光刻；(3.5)光刻完成后，取出第二种mask图纹版下一次备用；(3.6)取配好的显影液放入清洗盒中，然后把步骤(3.5)光刻完成的PET光刻材料放入清洗盒中进行清洗，使其图纹在PET光刻材料上显示出来；(3.7)把步骤(3.6)清洗完成的PET光刻材料放入到真空环境中，打开脱水机将PET光刻材料的水分进行甩干，从而实现第二次纹理的处理叠加,得到多通道3D纳米纹理模具。