[发明专利]多通道3D纳米纹理模具的制备方法在审
| 申请号： | 201811394525.2 | 申请日： | 2018-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN109465992A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 郑跃勇;刘斌 | 申请（专利权）人： | 宁波微迅新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B29C33/38 | 分类号： | B29C33/38 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 | 代理人： | 李迎春 |
| 地址： | 315000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纹理 光刻材料 多通道 光刻 模具 第一层 清洗盒 图纹版 放入 制备 叠加 生胶 工作效率 光刻处理 脱水甩干 制作工艺 抽真空 显影液 烘干 上光 不锈钢 图纹 无尘 备用 清洗 取出 | ||
1.一种多通道3D纳米纹理模具的制备方法，其特征在于：具体操作步骤包括：
(1)在PET光刻材料上涂上光刻胶，然后进入不锈钢无尘炉进行烘干备用；
(2)第一层纹理光刻处理，具体包括：
(2.1)在PET光刻材料的生胶面上放上mask图纹版；
(2.2)将放置好的mask图纹版的PET光刻材料放入到光刻机上，然后打开真空泵，进行抽真空；
(2.3)根据mask图纹版的精细度、调节设置光刻时间，然后进行光刻；
(2.4)光刻完成后，取出mask图纹版下一次备用；
(2.5)取配好的显影液放入清洗盒中，然后把光刻完成的PET光刻材料放入清洗盒中进行清洗，使其图纹在PET光刻材料上显示出来；
(2.6)把步骤(2.5)清洗完成的PET光刻材料放入到真空环境中，打开脱水机将PET光刻材料的水分进行甩干；
(3)第二层纹理光刻处理，具体包括：
(3.1)在第一层纹理处理完成后的光刻PET光刻材料上再涂一层光刻胶，然后进入不锈钢无尘炉进行烘干备用；
(3.2)在步骤(3.1)烘干后的PET光刻材料涂胶的一面上再放上第二种mask图纹版；
(3.3)将放置好第二种mask图纹版的PET光刻材料放入到光刻机上，然后打开真空泵，进行抽真空；
(3.4)根据第二种mask图纹版的精细度、调节设置光刻时间，然后进行光刻；
(3.5)光刻完成后，取出第二种mask图纹版下一次备用；
(3.6)取配好的显影液放入清洗盒中，然后把步骤(3.5)光刻完成的PET光刻材料放入清洗盒中进行清洗，使其图纹在PET光刻材料上显示出来；
(3.7)把步骤(3.6)清洗完成的PET光刻材料放入到真空环境中，打开脱水机将PET光刻材料的水分进行甩干，从而实现第二次纹理的处理叠加,得到多通道3D纳米纹理模具。
2.根据权利要求1所述的多通道3D纳米纹理模具的制备方法，其特征在于：所述的PET光刻材料上每加一层纹理都需要高清CCD相机进行定位。
3.根据权利要求1所述的多通道3D纳米纹理模具的制备方法，其特征在于：所述的PET光刻材料放入到光刻机上进行抽真空30-80秒。
4.根据权利要求1所述的多通道3D纳米纹理模具的制备方法，其特征在于：所述的mask图纹版的光刻时间为30-150秒。
5.根据权利要求4所述的多通道3D纳米纹理模具的制备方法，其特征在于：线条宽度为0.01-0.03的光刻时间为10-80秒，线条宽度为0.031-0.05mm的光刻时间为81-150秒。
6.根据权利要求1所述的多通道3D纳米纹理模具的制备方法，其特征在于：所述PET光刻材料放入清洗盒中进行清洗的时间为20-300秒。
7.根据权利要求6所述的多通道3D纳米纹理模具的制备方法，其特征在于：所述PET光刻材料放入清洗盒中进行清洗的时间为20-60秒。
8.根据权利要求1所述的多通道3D纳米纹理模具的制备方法，其特征在于：所述的取出mask图纹版下一次备用，为将mask图纹版置于无光盒子内放置。
9.根据权利要求1所述的多通道3D纳米纹理模具的制备方法，其特征在于：所述的不锈钢无尘炉进行烘干，烘干温度为95-120℃，时间为10-30min。
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