[发明专利]静电放电防护结构及静电放电强健型半导体装置有效

专利信息
申请号: 201811390017.7 申请日: 2018-11-21
公开(公告)号: CN110690211B 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 陈乐凡 申请(专利权)人: 新唐科技股份有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 王涛;孙乳笋
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明提供一种静电放电防护结构及静电放电强健型半导体装置,其包括基板、深井区、漏极区、顶掺杂区、氧化层区、栅极区、基体区以及扩增区。深井区设置于基板上;漏极区设置于深井区上以作为输入端;顶掺杂区设置于深井区上且邻近漏极区;氧化层区设置于顶掺杂区上并覆盖顶掺杂区及部分漏极区;栅极区设置于氧化层区上并覆盖部分深井区及氧化层区,以作为控制端;基体区设置于基板上,并邻近栅极区以作为基体端;扩增区设置于基板上且位于基体区相对于栅极区的一侧,并远离栅极区以作为输出端。通过上述的设置,使扩增区、基体区和漏极区之间形成寄生晶体管,以宣泄静电脉冲。
搜索关键词: 静电 放电 防护 结构 强健 半导体 装置
【主权项】:
1.一种静电放电防护结构,其特征在于,所述的静电放电防护结构包括:/n一基板;/n一深井区,设置于所述基板上;/n一漏极区,设置于所述深井区上,以作为一输入端;/n一顶掺杂区,设置于所述深井区上,且邻近于所述漏极区;/n一氧化层区,设置于所述顶掺杂区上,并覆盖所述顶掺杂区及一部分的所述漏极区;/n一栅极区,设置于所述氧化层区上,并覆盖一部分的所述深井区及所述氧化层区,以作为一控制端;/n一基体区,设置于所述基板上,并邻近所述栅极区,以作为一基体端;以及/n一扩增区,设置于所述基板上,而位于所述基体区相对于所述栅极区的一侧,并远离所述栅极区,以作为一输出端;/n其中,所述扩增区及所述漏极区为一第一导电类型,而所述基体区为一第二导电类型,所述扩增区、所述基体区与所述漏极区之间生成一寄生晶体管。/n
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