[发明专利]静电放电防护结构及静电放电强健型半导体装置有效
申请号: | 201811390017.7 | 申请日: | 2018-11-21 |
公开(公告)号: | CN110690211B | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 陈乐凡 | 申请(专利权)人: | 新唐科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 王涛;孙乳笋 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种静电放电防护结构及静电放电强健型半导体装置,其包括基板、深井区、漏极区、顶掺杂区、氧化层区、栅极区、基体区以及扩增区。深井区设置于基板上;漏极区设置于深井区上以作为输入端;顶掺杂区设置于深井区上且邻近漏极区;氧化层区设置于顶掺杂区上并覆盖顶掺杂区及部分漏极区;栅极区设置于氧化层区上并覆盖部分深井区及氧化层区,以作为控制端;基体区设置于基板上,并邻近栅极区以作为基体端;扩增区设置于基板上且位于基体区相对于栅极区的一侧,并远离栅极区以作为输出端。通过上述的设置,使扩增区、基体区和漏极区之间形成寄生晶体管,以宣泄静电脉冲。 | ||
搜索关键词: | 静电 放电 防护 结构 强健 半导体 装置 | ||
【主权项】:
1.一种静电放电防护结构,其特征在于,所述的静电放电防护结构包括:/n一基板;/n一深井区,设置于所述基板上;/n一漏极区,设置于所述深井区上,以作为一输入端;/n一顶掺杂区,设置于所述深井区上,且邻近于所述漏极区;/n一氧化层区,设置于所述顶掺杂区上,并覆盖所述顶掺杂区及一部分的所述漏极区;/n一栅极区,设置于所述氧化层区上,并覆盖一部分的所述深井区及所述氧化层区,以作为一控制端;/n一基体区,设置于所述基板上,并邻近所述栅极区,以作为一基体端;以及/n一扩增区,设置于所述基板上,而位于所述基体区相对于所述栅极区的一侧,并远离所述栅极区,以作为一输出端;/n其中,所述扩增区及所述漏极区为一第一导电类型,而所述基体区为一第二导电类型,所述扩增区、所述基体区与所述漏极区之间生成一寄生晶体管。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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