[发明专利]一种小功率抗辐射晶体管芯片及制备方法在审
申请号: | 201811383553.4 | 申请日: | 2018-11-20 |
公开(公告)号: | CN109494250A | 公开(公告)日: | 2019-03-19 |
发明(设计)人: | 赵志桓;张礼;安兆嵬;王传超;韩镒戎;田鑫浩;路凯歌;郭英华 | 申请(专利权)人: | 山东农业工程学院 |
主分类号: | H01L29/735 | 分类号: | H01L29/735;H01L29/08;H01L29/10;H01L21/331;H01L23/482;H01L21/60 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 王磊 |
地址: | 250100 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种小功率抗辐射晶体管芯片及制备方法,由基区、发射区、发射区键合点和基区键合点组成,基区的轮廓为葫芦形,基区一端的轮廓为大圆弧,基区另一端的轮廓为小圆弧,大圆弧的半径大于小圆弧的半径,基区位于大圆弧区域的表面由下向上依次设有发射区、发射区键合点,基区位于小圆弧区域的表面设有基区键合点,发射区、发射区键合点和基区键合点均位于基区的同一侧表面,基区的另一侧表面与基底接触,发射区、发射区键合点和基区键合点的轮廓均为圆形,基区的大圆弧半径、发射区的半径、发射区键合点的半径依次减小,基区的小圆弧半径、基区键合点的半径依次减小,发射区、基区和基底均为半导体层。本发明提供的芯片具有抗辐射能力。 | ||
搜索关键词: | 基区 发射区 键合点 大圆弧 小圆弧 抗辐射 晶体管芯片 依次减小 小功率 制备 半导体层 基底接触 葫芦形 基底 芯片 | ||
【主权项】:
1.一种小功率抗辐射晶体管芯片,其特征是,由基区、发射区、发射区键合点和基区键合点组成,所述基区为层状结构,所述基区的轮廓为葫芦形,基区一端的轮廓为大圆弧,基区另一端的轮廓为小圆弧,大圆弧的半径大于小圆弧的半径,所述基区位于大圆弧区域的表面由下向上依次设有发射区、发射区键合点,所述基区位于小圆弧区域的表面设有基区键合点,发射区、发射区键合点和基区键合点均位于基区的同一侧表面,基区的另一侧表面与基底接触,所述发射区键合点和基区键合点均为金属层,所述发射区、发射区键合点和基区键合点的轮廓均为圆形,基区的大圆弧半径、发射区的半径、发射区键合点的半径依次减小,基区的小圆弧半径、基区键合点的半径依次减小,发射区、基区和基底均为半导体层,所述基区和基底的半导体的P、N型不同,所述发射区和基区半导体的P、N型不同。
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