[发明专利]单晶硅定向凝固引晶模块有效
申请号: | 201811378218.5 | 申请日: | 2018-11-19 |
公开(公告)号: | CN109321975B | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 羊实;庹开正 | 申请(专利权)人: | 永平县泰达废渣开发利用有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B11/00;C30B11/14 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 胡晓丽 |
地址: | 672600 云南省*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本发明公开了单晶硅定向凝固引晶模块,包括第一坩埚和第二坩埚,所述第二坩埚套设在第一坩埚内,第二坩埚内底部设有籽晶;所述第二坩埚的外径小于第一坩埚的内径,在第一坩埚和第二坩埚之间的环形腔室内设有石墨保温织套,所述石墨保温织套呈轴向两端敞口的筒状结构,石墨保温织套的轴向一端通过连接件固定在环形腔室的顶端、轴向另一端在重力作用下自然垂挂在环形腔室底部。本发明可有效防止液态硅原料在第一坩埚侧壁上成核结晶,利于获得高质量的单晶硅产品。 | ||
搜索关键词: | 单晶硅 定向 凝固 模块 | ||
【主权项】:
1.单晶硅定向凝固引晶模块,其特征在于,包括第一坩埚(1)和第二坩埚(2),所述第二坩埚(2)套设在第一坩埚(1)内,所述第二坩埚(2)内底部几何中心处开设有安装孔(12),安装孔(12)内可拆卸连接设有用于夹持籽晶(3)的固定件(13);所述第二坩埚(2)的外径小于第一坩埚(1)的内径,在第一坩埚(1)和第二坩埚(2)之间的环形腔室内设有石墨保温织套(4),所述石墨保温织套(4)呈轴向两端敞口的筒状结构,石墨保温织套(4)的轴向一端通过连接件(5)固定在环形腔室的顶端、轴向另一端在重力作用下自然垂挂在环形腔室底部。
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