[发明专利]单晶硅定向凝固引晶模块有效
申请号: | 201811378218.5 | 申请日: | 2018-11-19 |
公开(公告)号: | CN109321975B | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 羊实;庹开正 | 申请(专利权)人: | 永平县泰达废渣开发利用有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B11/00;C30B11/14 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 胡晓丽 |
地址: | 672600 云南省*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶硅 定向 凝固 模块 | ||
1.单晶硅定向凝固引晶模块,其特征在于,包括第一坩埚(1)和第二坩埚(2),所述第二坩埚(2)套设在第一坩埚(1)内,所述第二坩埚(2)内底部几何中心处开设有安装孔(12),安装孔(12)内可拆卸连接设有用于夹持籽晶(3)的固定件(13);
所述第二坩埚(2)的外径小于第一坩埚(1)的内径,在第一坩埚(1)和第二坩埚(2)之间的环形腔室内设有石墨保温织套(4),所述石墨保温织套(4)呈轴向两端敞口的筒状结构,石墨保温织套(4)的轴向一端通过连接件(5)固定在环形腔室的顶端、轴向另一端在重力作用下自然垂挂在环形腔室底部;
所述连接件(5)呈环形板结构,环形板的内径与第二坩埚(2)的内径相等,环形板的外径与第一坩埚(1)的外径相等;石墨保温织套(4)的一端敞口端固定在环形板的下板面上;
所述环形板的下板面上还沿周向凸设有第一定位环(6)和第二定位环(7);所述第一坩埚(1)的顶部端面上沿周向设有与所述第一定位环(6)适配的第一定位槽(8),第二坩埚(2)的顶部端面上沿周向设有与所述第二定位环(7)适配的第二定位槽(9);
所述石墨保温织套(4)的轴向底端设有配重环(11)。
2.根据权利要求1所述的单晶硅定向凝固引晶模块,其特征在于,所述环形板的上板面上设有提拉环(10)。
3.根据权利要求1所述的单晶硅定向凝固引晶模块,其特征在于,所述固定件(13)呈一端敞口一端封闭的筒状结构,籽晶(3)插入筒状结构内固定;筒状结构的顶部敞口端外壁上环设有限位板(14),所述限位板(14)上开设有通孔,第二坩埚(2)的底面、且位于安装孔(12)外缘处设有与所述通孔适配的螺纹孔,通过石墨销钉(15)贯穿所述通孔、旋入螺纹孔内固定。
4.根据权利要求3所述的单晶硅定向凝固引晶模块,其特征在于,所述筒状结构的侧壁上开设有螺纹通孔,螺纹通孔的轴线与筒状结构的轴线方向垂直,通过石墨销 钉(15)旋入所述螺纹通孔内将筒状结构内的籽晶(3)压紧固定。
5.根据权利要求1所述的单晶硅定向凝固引晶模块,其特征在于,所述第一坩埚(1)内底部几何中心处凸设有定位柱(16),所述第二坩埚(2)外底部凹设有与所述定位柱(16)适配的定位孔。
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