[发明专利]一种用于密封腔体内样品冷却和传输的机构有效
| 申请号： | 201811375007.6 | 申请日： | 2018-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN109632450B | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 仇旻;赵鼎;洪宇;刘东立 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N1/42 | 分类号： | G01N1/42;H01J37/20;B65G47/74 |
| 代理公司： | 杭州之江专利事务所(普通合伙) 33216 | 代理人： | 黄燕 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于密封腔体内样品冷却和传输的机构，包括：对所述密封腔体进行冷却的低温制冷单元；设置在密封腔体内的可移动的样品台；用于在两个或多个密封腔体间对样品进行转移的转移杆。本发明提出的样品冷却传输装置，可安装在扫描电子显微镜、透射电子显微镜、电子束曝光机、聚焦离子束显微镜等含有电子束源或离子束源的微纳加工设备中，实现在真空中冷却样品，进而对低温状态下的样品进行表征检测或加工。同时允许样品台进行微米级精度的移动，并将样品传输至其他真空腔室，而且传输过程中，样品能保持低温状态，以便进行后续操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 密封 体内 样品 冷却 传输 机构 | ||
【主权项】：
1.一种用于密封腔体内样品冷却和传输的机构，其特征在于，包括：对所述密封腔体进行冷却的低温制冷单元；设置在密封腔体内的可移动的样品台；用于在两个或多个密封腔体间对样品进行转移的转移杆。
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