[发明专利]一种用于密封腔体内样品冷却和传输的机构

权利要求书

1.一种用于密封腔体内样品冷却和传输的机构，其特征在于，包括：

对所述密封腔体进行冷却的低温制冷单元；

设置在密封腔体内的可移动的样品台；

用于在两个或多个密封腔体间对样品进行转移的转移杆；

还包括低温挡板，该低温挡板一端与低温制冷单元的制冷端相连，另一端深入所述密封腔体内；

所述密封腔体为微纳加工设备的检测腔；

所述低温挡板深入所述密封腔体内的一端延伸至检测探头下方，该端同时设有避让检测探头发射路径的避让孔；

所述样品台包括：

固定在三维运动机构上能够进行三维移动的固定样品架；

滑动的设置在固定样品架内的移动样品架，该移动样品架能在所述转移杆的作用下移动；

所述低温挡板与固定样品架之间设有柔性传热件；

所述低温制冷单元为液氮杜瓦瓶结构或液氦杜瓦瓶结构时，其液氮杜瓦瓶或液氦杜瓦瓶的外壳与所述密封腔体密封对接。

2.根据权利要求1所述的用于密封腔体内样品冷却和传输的机构，其特征在于，所述固定样品架设有燕尾槽，所述移动样品架为与所述燕尾槽配合的梯形结构。

3.根据权利要求1所述的用于密封腔体内样品冷却和传输的机构，其特征在于，所述三维运动机构为五轴联动机构。

4.根据权利要求3所述的用于密封腔体内样品冷却和传输的机构，其特征在于，所述三维运动机构能够驱使所述固定样品架在X轴,Y周,Z轴三个方向的移动精度不低于1微米；倾斜与旋转精度不低于0.1°。