[发明专利]变温平台及DLTS测试系统有效
| 申请号： | 201811372597.7 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109342503B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 赵万顺;闫果果;刘兴昉;张峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G05D23/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种变温平台及DLTS测试系统，变温平台包括：水冷腔室、加热机构和至少两个探针臂；水冷腔室上设置至少一个放气口、至少一个抽气口、至少两个进水口以及至少两个出水口；加热机构包括加热板、热电阻和第一固定结构，第一固定结构将加热板固定在与水冷腔室的底面平行的平面上，第一固定结构将热电阻设置在加热板的下表面；探针臂包括第二固定结构和探针，第二固定结构的一端和水冷腔室的底面固定连接，第二固定结构的另一端和探针固定连接，使得探针垂直于加热板所在的平面，每个探针的导线的长度相等。缓解不能满足具有高温特性的半导体材料的测试需求的问题，达到满足具有高温特性的半导体材料的测试需求的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 平台 dlts 测试 系统 | ||
【主权项】：
1.一种变温平台，其特征在于，包括：水冷腔室、加热机构和至少两个探针臂，所述加热机构和至少两个所述探针臂均设置在所述水冷腔室的内部；所述水冷腔室上设置有至少一个放气口(11)、至少一个抽气口(12)、至少两个进水口以及至少两个出水口；所述加热机构包括加热板(18)、热电阻(20)和第一固定结构，所述第一固定结构将所述加热板(18)固定在与所述水冷腔室的底面平行的平面上，所述加热板(18)与所述水冷腔室的底面之间具有间隔，所述第一固定结构将所述热电阻(20)设置在所述加热板(18)的下表面，所述加热板(18)的电源线(19)和所述热电阻(20)的信号线(21)均穿过所述水冷腔室；所述探针臂包括第二固定结构和探针(24)，所述第二固定结构的一端和所述水冷腔室的底面固定连接，所述第二同定结构的另一端和所述探针(24)固定连接，使得所述探针(24)垂直于所述加热板(18)所在的平面，所述探针(24)的导线(13)穿过所述水冷腔室，其中，每个所述探针臂的所述探针(24)的所述导线(13)的长度相等。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所，未经中国科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811372597.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：唾液检测设备及牙刷
- 下一篇：一种测量超导带材的失超恢复特性的装置和方法
