[发明专利]变温平台及DLTS测试系统

权利要求书

1.一种变温平台，其特征在于，包括：水冷腔室、加热机构和至少两个探针臂，所述加热机构和至少两个所述探针臂均设置在所述水冷腔室的内部；

所述水冷腔室上设置有至少一个放气口(11)、至少一个抽气口(12)、至少两个进水口以及至少两个出水口；

所述加热机构包括加热板(18)、热电阻(20)和第一固定结构，所述第一固定结构将所述加热板(18)固定在与所述水冷腔室的底面平行的平面上，所述加热板(18)与所述水冷腔室的底面之间具有间隔，所述第一固定结构将所述热电阻(20)设置在所述加热板(18)的下表面，所述加热板(18)的电源线(19)和所述热电阻(20)的信号线(21)均穿过所述水冷腔室；

所述探针臂包括第二固定结构和探针(24)，所述第二固定结构的一端和所述水冷腔室的底面固定连接，所述第二固定结构的另一端和所述探针(24)固定连接，使得所述探针(24)垂直于所述加热板(18)所在的平面，所述探针(24)的导线(13)穿过所述水冷腔室，其中，每个所述探针臂的所述探针(24)的所述导线(13)的长度相等；其中，所述第二固定结构包括：探针支架(14)、探针支架托臂(16)、探针支架调节螺母(15)、探针支架调节内螺纹杆(22)和探针卡具(23)；

所述探针支架托臂(16)垂直于所述水冷腔室的底面，所述探针支架托臂(16)的底端和所述水冷腔室的底面固定连接；

所述探针支架调节内螺纹杆(22)垂直于所述水冷腔室的底面，所述探针支架调节内螺纹杆(22)的底端和所述水冷腔室的底面固定连接；

所述探针支架(14)的一端设置有一个圆孔，所述圆孔套住所述探针卡具(23)，所述探针卡具(23)套住所述探针(24)，所述探针支架(14)的另一端设置在所述探针支架托臂(16)的顶端，所述探针支架(14)的中间位置设置有方孔，所述探针支架调节螺母(15)通过所述方孔与位于所述方孔下方的所述探针支架调节内螺纹杆(22)的内部螺纹连接；

所述第一固定结构包括：加热板固定架(17)、第一弹性支架(25)、第二弹性支架(26)和第三弹性支架(27)；

所述加热板固定架(17)垂直于所述水冷腔室的底面，所述加热板固定架(17)的底端和所述水冷腔室的底面固定连接，所述加热板固定架(17)的顶端固定所述加热板(18)的与所述电源线(19)连接的一端；

所述第一弹性支架(25)和所述第二弹性支架(26)用来支撑所述加热板(18)的远离所述电源线(19)的一端，使得所述加热板(18)平行于所述水冷腔室的底面；

所述第三弹性支架(27)将所述热电阻(20)支撑在所述加热板(18)的下表面。

2.根据权利要求1所述的变温平台，其特征在于，所述第一弹性支架(25)、所述第二弹性支架(26)和所述第三弹性支架(27)均为锥形的弹性支架，所述探针(24)为弹簧探针。

3.根据权利要求2所述的变温平台，其特征在于，所述水冷腔室包括：腔体(4)和腔体盖(5)；

所述腔体盖(5)上设置有第一进水口(3)和第一出水口(1)；

所述腔体(4)的侧壁上设置有第二进水口(7)、第二出水口(8)、所述放气口(11)和所述抽气口(12)。

4.根据权利要求3所述的变温平台，其特征在于，还包括：航空插头(9)；

所述航空插头(9)设置在所述腔体(4)的侧壁上，所述加热板(18)的所述电源线(19)和所述热电阻(20)的所述信号线(21)均与所述航空插头(9)的位于所述腔体(4)内部的接口连接。

5.根据权利要求4所述的变温平台，其特征在于，还包括：至少两个BNC接头(10)；

每个所述BNC接头(10)分别设置在所述腔体(4)的侧壁上，每个所述BNC接头(10)与所述腔体(4)底面之间的距离相等，所述腔体(4)为圆柱形腔体，所述BNC接头(10)所在的平面与所述腔体(4)侧壁相交，形成一圆弧，各BNC接头(10)均匀分布在所述圆弧上；

每个所述探针臂的所述探针(24)的所述导线(13)分别与一个所述BNC接头(10)的位于所述腔体(4)内部的接口连接。