[发明专利]一种柔性薄膜体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 201811368194.5 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109361373A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 廖丹;袁严辉;王悦辉;顾晓勤;谢辉;张国庆;黎萍;于楚泓 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学中山学院 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 黄启文 |
| 地址： | 528400 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及射频微机电系统技术领域，提出一种柔性薄膜体声波谐振器，包括由下至上依次设置的衬底、下电极、压电层和上电极，其中上电极和下电极的材质为石墨烯、碳纳米管或聚3,4‑乙烯二氧噻吩，压电层的材质为ZnO纳米棒和P(VDF‑TrFE)组成的复合材料，或氮化铝和P(VDF‑TrFE)组成的复合材料。本发明还提出一种柔性薄膜体声波谐振器的制备方法：固定衬底，在衬底上通过还原氧化石墨制备下电极；在下电极上利用水热法制备ZnO纳米棒；在ZnO纳米棒上旋涂P(VDF‑TrFE)，并真空退火处理；在ZnO/P(VDF‑TrFE)上通过还原氧化石墨制备上电极并进行极化；在上电极上沉积固化聚二甲基硅氧烷溶液制备保护层。本发明具有高柔性、高品质因素、高谐振频率的特点，可应用于射频电路中的滤波器及触觉检测领域。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 制备 柔性薄膜体 声波谐振器 下电极 衬底 氧化石墨 复合材料 压电层 还原 滤波器 聚二甲基硅氧烷 射频微机电系统 乙烯二氧噻吩 高谐振频率 触觉检测 溶液制备 射频电路 水热法制 碳纳米管 依次设置 真空退火 保护层 氮化铝 高品质 高柔性 石墨烯 极化 上旋 沉积 固化 应用 | ||
【主权项】：
1.一种柔性薄膜体声波谐振器，包括由下至上依次设置的衬底、下电极、压电层和上电极，其特征在于：所述上电极和下电极的材质为石墨烯、碳纳米管CNT或聚3,4‑乙烯二氧噻吩PEDOT，所述压电层的材质为聚偏氟乙烯PVDF或共聚物P(VDF‑TrFE)与ZnO纳米棒、锆钛酸铅PZT或氮化铝AIN的复合材料。
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