[发明专利]加热装置、蒸发源及蒸镀装置在审
| 申请号： | 201811362786.6 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN110656309A | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 菅原由季 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够实现坩埚的温度分布的均匀化的提高的加热装置、蒸发源及蒸镀装置。加热装置具备：具有发热体(331b)并对坩埚(321)进行加热的加热器(331)；及隔着加热器(331)而设置在坩埚(321)的相反侧并使来自加热器(331)的热反射的第一反射器(341)，所述加热装置的特征在于，在第一反射器(341)局部性地设有热辐射率比其他部位高的高热辐射率部(341a)。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 加热装置 坩埚 反射器 高热辐射 局部性地 热辐射率 温度分布 蒸镀装置 发热体 均匀化 热反射 相反侧 蒸发源 加热 | ||
【主权项】：
1.一种加热装置，所述加热装置具备：/n加热器，所述加热器具有发热体，并对坩埚进行加热；及/n反射器，所述反射器隔着所述加热器而设置在所述坩埚的相反侧，使来自所述加热器的热反射，/n所述加热装置的特征在于，/n在所述反射器局部性地设有热辐射率比其他部位高的高热辐射率部。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能特机株式会社，未经佳能特机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811362786.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
