[发明专利]基于超表面FBAR谐振频率温漂特性的偏振红外传感器有效
| 申请号： | 201811341023.3 | 申请日： | 2018-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN109459148B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 陶金;梁中翥;孟德佳;梁静秋;秦余欣;吕金光;史晓燕;秦正 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01J5/58 | 分类号： | G01J5/58;G01J5/02 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 王丹阳 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 基于超表面FBAR谐振频率温漂特性的偏振红外传感器涉及红外传感技术领域，解决了现有技术中吸收率较低和红外偏振传感器结构和性能均需要提高的问题，包括依次连接的读出集成电路衬底、薄膜体声波谐振器、金属反射层、介质层和金属阵列层，金属阵列层由复数个特性方向一致的金属单元组成。本发明非制冷红外传感器利用金属反射层、介质层和金属阵列层实现对红外光谱的增强吸收，吸收的能量作用于薄膜体声波谐振器上，将非制冷红外传感器的吸收率大幅提高，通过金属阵列层实现偏振光吸收，在结构和性能上对红外偏振传感器进行优化；通过集成方式连接，体积重量小且成本低廉；有传统非制冷红外传感的优点，同时响应快速、传感灵敏度高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 表面 fbar 谐振 频率 特性 偏振 红外传感器 | ||
【主权项】：
1.基于超表面FBAR谐振频率温漂特性的偏振红外传感器，包括薄膜体声波谐振器(2)，其特征在于，该红外传感器还包括连接薄膜体声波谐振器(2)的读出集成电路衬底(1)、位于薄膜体声波谐振器(2)上表面上的金属反射层(3‑3)、位于金属反射层(3‑3)上表面上的介质层(3‑2)和位于介质层(3‑2)上表面上的金属阵列层(3‑1)，所述金属阵列层(3‑1)由复数个特性方向一致的金属单元(3‑11)组成。
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