[发明专利]一种抗氧化的铜基键合丝及其制备方法在审
| 申请号： | 201811332474.0 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN109473413A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 王娟;曹凯;刘实;瞿晓春;陈洲;刘新宽;陈小红 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | H01L23/49 | 分类号： | H01L23/49;H01L21/48;B22D11/00;C21D9/52;C22C9/04;C22F1/08 |
| 代理公司： | 上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312 | 代理人： | 袁步兰 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种抗氧化的铜基键合丝，包括以下组分：锆、锌、稀土及铜；其中，上述组分含量按照以下重量比：锆0.0008％～0.0025％，锌0.001％～0.015％，稀土0.0002％～0.0010％，余量为铜。本发明通过微量元素的添加，可以提高铜的再结晶温度、力学性能和键合工艺性能，从而可以有效提升铜的抗氧化性能；同时由于Zn的选择性氧化抑制了铜的氧化，因而提高了铜丝的抗氧化性能，并且可以保证铜丝强度与电导率。本发明还有提出了一种抗氧化的铜基键合丝的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 铜基键合丝 抗氧化 铜丝 抗氧化性能 制备 稀土 电导率 选择性氧化 键合工艺 力学性能 微量元素 再结晶 重量比 保证 | ||
【主权项】：
1.一种抗氧化的铜基键合丝，其特征在于，包括以下组分：锆、锌、稀土及铜；其中，上述组分含量按照以下重量比：锆0.0008％～0.0025％，锌0.001％～0.015％，稀土0.0002％～0.0010％，余量为铜。
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