[发明专利]一种抗氧化的铜基键合丝及其制备方法

权利要求书

1.一种抗氧化的铜基键合丝，其特征在于，包括以下组分：锆、锌、稀土及铜；其中，上述组分含量按照以下重量比：锆0.0008％～0.0025％，锌0.001％～0.015％，稀土0.0002％～0.0010％，余量为铜。

2.根据权利要求1所述的抗氧化的铜基键合丝，其特征在于，所述铜的纯度≥99.996，锆的纯度>99.9％。

3.根据权利要求1所述的抗氧化的铜基键合丝，其特征在于，所述稀土为混合稀土。

4.根据权利要求1所述的抗氧化的铜基键合丝，其特征在于，所述铜基键合丝为单晶结构。

5.一种抗氧化的铜基键合丝的制备方法，用于制备如权利要求1～4之任一项所述的抗氧化的铜基键合丝，其特征在于，包括以下步骤：

1)制备铜合金铸锭；

按照质量百分比将锆、锌、稀土及铜混合后放入石墨坩埚中，在惰性气体保护条件下使用感应电炉熔化，获取铜合金铸锭；

2)制备铸态单晶母线；

将铜合金铸锭放置于连铸室，加入氮气保护，进行中频感应加热，待完全熔化、精炼和除气后，将熔液注入连铸室中间的储液池保温，在维持2L/min～5L/min氮气流量的连铸室中，完成对铜合金熔液的水平单晶连铸，获取铜合金铸态单晶母线；

3)粗拔；

将铜合金铸态单晶母线经多道模拉拔工序，拉拔获取铜合金单晶丝；

4)热处理；

将铜合金单晶丝置于退火炉中进行退火处理；其中，热处理温度420℃～480℃，保温时间20min～30min；

5)精拔；

将铜合金单晶丝经多道次过模拉拔工序，拉拔成不同的规格的铜基键合丝；

6)表面清洗；

将铜基键合丝先用酸液清洗，然后依次经超声波清洗及纯水清洗，烘干；

7)分卷及包装；

将铜基键合丝单卷定尺后进行真空包装；其中，单卷定尺控制张力5g～30g，绕丝速度为500rpm～750rpm。

6.根据权利要求5所述的抗氧化的铜基键合丝的制备方法，其特征在于，

在步骤2)中，铜合金铸态单晶母线的直径范围7.9mm～8.1mm，纵向晶粒数和横向晶粒的数量均为1。

7.根据权利要求5所述的抗氧化的铜基键合丝的制备方法，其特征在于，在步骤3)中，模具延伸率为5％～12％，拉伸速度为515m/s～15m/s。

8.根据权利要求5所述的抗氧化的铜基键合丝的制备方法，其特征在于，在步骤4)中，退火处理过程中，进一步通入氮气。

9.根据权利要求5所述的抗氧化的铜基键合丝的制备方法，其特征在于，在步骤5)中，所述铜基键合丝的长度范围0.013mm～0.028mm。