[发明专利]一种TiN-CrMoN耐摩擦复合涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201811327065.1 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN111155058A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 广州市思创信息技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511300 广东省广州市增城区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明为一种TiN‑CrMoN耐摩擦复合涂层的制备方法，该方法包括：选用M2高速钢作为基片，先对基本进行预处理；采用多弧离子镀设备制备TiN涂层，靶材采用纯Ti靶，先沉积Ti过渡层，再沉积TiN沉积层；采用多弧离子镀设备制备CrMoN涂层，靶材采用Cr靶和Mo，调节靶电流，使得Ar靶电流大于Mo靶电流，沉积时间为60min，再次调节靶电流，使得Ar靶电流小于Mo靶电流，沉积时间为70min。本发明所制备的TiN‑CrMoN耐摩擦复合涂层的摩擦性能得到改善，降低其摩擦因数和磨损率，涂层质量得到改善，具有较高的硬度和低的弹性模量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tin crmon 摩擦 复合 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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