[发明专利]一种微振动传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811326680.0 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN109341843B | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 韩志武;王可军;宋洪烈;张俊秋;陈道兵;刘林鹏;张斌杰;孙涛;王大凯;张昌超 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;朱阳波 |
| 地址： | 130012 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微振动传感器及其制备方法，所述方法包括以下步骤：在金属片上涂覆第一固化材料，并将第一固化材料固化成第一固化层；将压电薄膜元件贴在第一固化层的边缘；将第一固化层贴有压电薄膜元件的一边竖直放入第二固化材料中，并将第二固化材料固化第二固化层；去除金属片，得到微振动传感器。由于将压电薄膜元件设置在裂纹尖端处，并利用微振动时，裂纹受力变形导致裂纹尖端应力场内应力急剧放大，将应力信号高效的转化为电信号，具有检测限低，精确度高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 振动 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微振动传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在金属片上涂覆第一固化材料，并将第一固化材料固化成第一固化层；将压电薄膜元件贴在第一固化层的边缘；将第一固化层贴有压电薄膜元件的一边竖直放入第二固化材料中，并将第二固化材料固化第二固化层；去除金属片，得到微振动传感器。
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