[发明专利]WTi合金靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201811321786.1 | 申请日： | 2018-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN111155061A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;罗明浩;吴东青 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;B22F3/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种WTi合金靶材的制备方法，包括钨粉及含铁钛粉，将所述钨粉与所述含铁钛粉进行混粉工艺，生成混合粉；将所述混合粉进行装模，将装模后的所述混合粉进行热压烧结工艺。通过将所述钨粉与所述含铁钛粉进行混粉工艺，在原料的提供上，选用含铁元素的钛粉，避免在混粉过程中直接加入铁粉，可以避免在混粉的过程中碎铁粉被氧化从而避免所述混合粉内的氧元素；并且在混粉的过程中，只要控制所述钨粉与所述钛粉的比例，即可以控制所述混合粉内铁元素的含量。将所述混合粉进行装模，将装模后的所述混合粉进行热压烧结工艺，通过严格的装模过程，控制整个烧结工艺，保障杂质不进入所述混合粉中，从而保障最终形成的所述WTi合金靶材的质量。 | ||
| 搜索关键词： | wti 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
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