[发明专利]WTi合金靶材的制备方法

权利要求书

1.一种WTi合金靶材的制备方法，其特征在于，包括：

钨粉及含铁钛粉，将所述钨粉与所述含铁钛粉进行混粉工艺，生成混合粉；

将所述混合粉进行装模；

将装模后的所述混合粉进行热压烧结工艺。

2.如权利要求1所述WTi合金靶材的制备方法，其特征在于，所述钨粉规格为含铁1质量ppm以下的5N钨粉；所述含铁钛粉规格为含铁350-450质量ppm的3N5钛粉。

3.如权利要求1所述WTi合金靶材的制备方法，其特征在于，包括：提供混粉设备，将所述钨粉与所述含铁钛粉放入所述混粉设备进行混粉。

4.如权利要求3所述WTi合金靶材的制备方法，其特征在于，所述混粉设备材质为钛材质。

5.如权利要求3所述WTi合金靶材的制备方法，其特征在于，将所述钨粉与所述含铁钛粉放入所述混粉设备进行混粉之前，还包括步骤：给所述混粉设备内充入惰性气体，所述惰性气体的压强为0.02Mpa-0.06Mpa。

6.如权利要求5所述WTi合金靶材的制备方法，其特征在于，所述惰性气体为氩气。

7.如权利要求3所述WTi合金靶材的制备方法，其特征在于，所述混粉设备转速为6r/min-15r/min，混粉时间控制在2h-5h。

8.如权利要求3所述WTi合金靶材的制备方法，其特征在于，包括：提供钛球，将所述钛球与所述钨粉以及所述含铁钛粉一起搅拌。

9.如权利要求1所述WTi合金靶材的制备方法，其特征在于，将所述混合粉进行装模之前，还包括步骤：提供石墨纸；将所述石墨纸垫入模具内，防止所述混合粉与磨具直接接触。

10.如权利要求1所述WTi合金靶材的制备方法，其特征在于，在所述热压烧结工艺中，最终所述热压烧结炉中温度为1250℃-1350℃，同时压强为25Mpa-35Mpa。