[发明专利]钨钛合金靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201811320446.7 | 申请日： | 2018-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN111151763A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;罗明浩;吴东青 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B22F9/04 | 分类号： | B22F9/04;B22F3/04;B22F3/15;B22F5/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种钨钛合金靶材的制备方法，包括：通过将钨钛合金粉末进行冷等静压工艺处理，然后将所述坯料放入包套并进行密封，其中所述包套与所述坯料通过耐高温棉隔离，使得在后续的工艺中所述坯料不会与所述包套发生反应，为后期出炉后从所述包套中取出所述钨钛合金靶材成品非常方便，同时，进行密封后，能够保障所述包套内没有杂质进入；通过将密封后的所述包套放入热处理炉中进行脱气工艺，使得所述坯料内部的空气完全抽出，并且使得所述坯料的分子之间间隙均匀；最后，通过将脱气后的所述包套进行热等静压工艺处理，使得所述坯料被加工成为成熟的靶材，形成的钨钛合金靶材的微观结构能够均匀有韧性且无裂缝存在，致密度能够达到100％。 | ||
| 搜索关键词： | 钛合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
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