[发明专利]钨钛合金靶材的制备方法

权利要求书

1.一种钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，包括：

将钨钛合金粉进行装模后，进行冷等静压工艺处理，形成坯料；

将所述坯料放入包套并进行密封；

将密封后的所述包套放入热处理炉中进行脱气工艺；

将脱气后的所述包套进行热等静压工艺处理。

2.如权利要求1所述钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，将钨钛合金粉进行装模之前，还包括步骤：提供混粉机，所述混粉机为钛材质，将W粉与Ti放入所述混粉机中进行混粉。

3.如权利要求2所述钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，将W粉与Ti放入所述混粉机中进行混粉之前，还包括步骤：给所述混粉机内通入惰性气体，所述惰性气体的压强控制在0.02Mpa-0.06Mpa。

4.如权利要求2所述钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，所述混粉机内筒形状为锥形。

5.如权利要求2所述钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，所述混粉机的转速控制在6r/min-15r/min。

6.如权利要求1所述钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，所述冷等静压工艺中冷等压强180Mpa-200Mpa，保压时间为5min-15min。

7.如权利要求1所述钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，所述脱气工艺为逐级脱气。

8.如权利要求7所述钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，所述逐级脱气工艺中，使得在所述热处理炉温度逐渐升高，每升高100℃，使得所述包套内的真空度达到2.3E-3Pa。

9.如权利要求1所述钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，热等静压处理过程中，将热等静压炉的温度升温至1200℃-1300℃，同时所述热等静压炉内的压强为140Mpa-200Mpa，保温保压时间3-6小时。

10.如权利要求1所述钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，提供耐高温棉，在将所述坯料放入所述包套之前，还包括步骤：采用所述耐高温棉将所述坯料与所述包套隔离。

11.如权利要求10所述钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，所述耐高温棉的材质为氧化铝陶瓷。

12.如权利要求10所述钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，所述耐高温棉的厚度为0.5mm-2mm。