[发明专利]一种透明超快响应自供能紫外探测器及其制备方法有效
申请号: | 201811319911.5 | 申请日: | 2018-11-07 |
公开(公告)号: | CN109524497B | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 汪宏;郑成;方华靖;吴亮亮 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | H01L31/108 | 分类号: | H01L31/108;H01L31/032;H01L31/0224;H01L31/18 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 710049 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种透明超快响应自供能紫外探测器及其制备方法,探测器从下到上包括氟掺杂氧化锡透明导电玻璃,利用溶胶凝胶法在导电玻璃上沉积的二氧化钛薄膜光敏层,银纳米线透明电极。本发明所制备的探测器,在可见光范围内具有高光学透明度。作为光敏层的二氧化钛薄膜夹在两个不同的透明电极之间以形成不对称的肖特基结。紫外探测器可以在零偏压下工作。紫外探测器对宽带紫外光(200~400nm)具有明显的光电响应。特别是本发明所制备的紫外探测器获得了高达47ns的超快响应速度,显示出比传统紫外探测器显着的改进。本发明的探测器完全采用溶液处理制备,具有工艺简单,低成本和易于批量生产的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 透明 响应 自供 紫外 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种透明超快响应自供能紫外探测器,其特征在于,包括FTO导电玻璃层(5)、TiO2多晶薄膜层(3)和银纳米线网格层(4),FTO导电玻璃层(5)上设置有一层TiO2多晶薄膜层(3),TiO2多晶薄膜(3)上表面设置有银纳米线层(4)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的