[发明专利]一种透明超快响应自供能紫外探测器及其制备方法有效
申请号: | 201811319911.5 | 申请日: | 2018-11-07 |
公开(公告)号: | CN109524497B | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 汪宏;郑成;方华靖;吴亮亮 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | H01L31/108 | 分类号: | H01L31/108;H01L31/032;H01L31/0224;H01L31/18 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 710049 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 透明 响应 自供 紫外 探测器 及其 制备 方法 | ||
1.一种透明超快响应自供能紫外探测器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1、配置旋涂TiO2多晶薄膜所用的前驱体溶胶备用;将FTO导电玻璃衬底清洗干净、晾干后备用;
步骤2、采用溶胶凝胶法,在清洗好的FTO导电玻璃衬底的导电面上旋涂前驱体溶胶沉积为TiO2薄膜;
步骤3、将步骤2所得的产品在快速退火炉中退火,退火结束随炉自然冷却至室温后取出;
步骤4、在退火并冷却至室温的TiO2薄膜表面滴涂一层银纳米线分散液,干燥后得到透明超快响应自供能紫外探测器;
步骤1中,配制前驱体溶胶的具体方法是:将乙二醇甲醚和钛酸四丁酯混合并在以500r/min~1500r/min的转速搅拌,搅拌的同时逐滴加入稳定剂,其中乙二醇甲醚、钛酸四丁酯和稳定剂的体积比为9:(1~4):2,将所得混合物搅拌2-5小时后并遮光静置12-24小时,得到前驱体溶胶。
2.根据权利要求1所述的一种透明超快响应自供能紫外探测器的制备方法,其特征在于,稳定剂为乙酸酐或乙二胺。
3.根据权利要求1所述的一种透明超快响应自供能紫外探测器的制备方法,其特征在于,步骤2包括以下步骤:
步骤2.1、将洗净的FTO导电玻璃吸附在匀胶机上;
步骤2.2、在FTO导电玻璃上滴涂TiO2前驱体溶胶,使前驱体溶胶将FTO导电玻璃上表面全部均匀覆盖;
步骤2.3、将FTO导电玻璃先以低速挡300r/min~700r/min的转速旋转1s~7s,再以高速挡2000r/min~4000r/min的转速旋转15s~30s;
步骤2.4、旋涂结束后加热,先用200℃~300℃加热3~10min,再用350℃~400℃加热20min~30min;
步骤2.5、重复步骤2.2至步骤2.4,直到TiO2薄膜达到所需厚度。
4.根据权利要求1所述的一种透明超快响应自供能紫外探测器的制备方法,其特征在于,步骤3的具体操作方法为:将步骤2所得的产品放入快速退火炉中,在空气氛围下,从室温加热到450℃~600℃,升温速度为10℃/s~20℃/s;在550℃保温10min~30min然后随炉自然冷却至室温后取出。
5.根据权利要求1所述的一种透明超快响应自供能紫外探测器的制备方法,其特征在于,步骤1中,采用超声清洗的方法对导电玻璃衬底清洗。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的