[发明专利]靶材组件及其制造方法在审
| 申请号： | 201811319205.0 | 申请日： | 2018-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN111155059A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;廖培君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材组件及其制造方法，制造方法包括：提供靶材和背板，所述靶材具有靶材焊接面，所述背板具有背板焊接面；在所述靶材焊接面或所述背板焊接面上形成螺纹；形成所述螺纹后，将所述靶材焊接面与所述背板焊接面相贴合设置形成初始组件；对所述初始组件进行焊接处理，以获得靶材组件。利用所述制造方法形成的所述靶材组件中，所述靶材与所述背板贴合紧密，能够避免在所述靶材焊接面及所述背板焊接面间形成缝隙，有助于提高所述靶材组件的焊接质量。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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