[发明专利]靶材组件及其制造方法在审
| 申请号： | 201811319205.0 | 申请日： | 2018-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN111155059A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;廖培君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 组件 及其 制造 方法 | ||
1.一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：
提供靶材和背板，所述靶材具有靶材焊接面，所述背板具有背板焊接面；
在所述靶材焊接面或所述背板焊接面上形成螺纹；
形成所述螺纹后，将所述靶材焊接面与所述背板焊接面相贴合设置形成初始组件；
对所述初始组件进行焊接处理，以获得靶材组件。
2.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，形成所述螺纹的工艺中，所述螺纹为平面螺纹。
3.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，形成所述螺纹的工艺中，所述螺纹由多个凸起构成。
4.如权利要求3所述的制造方法，其特征在于，形成所述螺纹的工艺中，所述凸起的高度为0.5mm～0.65mm。
5.如权利要求3所述的制造方法，其特征在于，形成所述螺纹的工艺中，相邻所述凸起的间距为0.7mm～0.95mm。
6.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，形成所述螺纹后，且在形成所述初始组件前，还包括：对所述靶材及所述背板进行清洗处理；进行清洗处理后，对所述靶材及所述背板进行干燥处理。
7.如权利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述靶材的材料为铝或铜。
8.如权利要求7所述的制造方法，其特征在于，当所述靶材的材料为铝时，所述清洗处理包括：提供酸洗液，将所述靶材浸泡于所述酸洗液中。
9.如权利要求7所述的制造方法，其特征在于，当所述靶材的材料为铜时，所述清洗处理包括：利用异丙醇溶液对所述靶材进行超声波清洗处理。
10.如权利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述背板的材料为铝合金或铜合金。
11.如权利要求10所述的制造方法，其特征在于，当所述背板的材料为铝合金时，所述清洗处理包括：提供酸洗液，将所述背板浸泡于所述酸洗液中。
12.如权利要求10所述的制造方法，其特征在于，当所述背板的材料为铜合金时，所述清洗处理包括：利用异丙醇溶液对所述背板进行超声波清洗处理。
13.如权利要求8或11所述的制造方法，其特征在于，所述酸洗液为氢氟酸及硝酸的混合溶液，所述氢氟酸及硝酸的质量百分比浓度总和为30％～60％。
14.如权利要求13所述的制造方法，其特征在于，所述氢氟酸及硝酸的质量百分比浓度的比值为0.125～0.25。
15.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，采用热等静压工艺对所述初始组件进行焊接处理。
16.如权利要求15所述的制造方法，其特征在于，形成所述初始组件后，且进行所述热等静压工艺前，还包括：利用真空包套对所述初始组件进行真空包装。
17.一种靶材组件，包括：采用焊接方式固定连接的靶材及背板；
其中，所述靶材具有靶材焊接面；
所述背板具有背板焊接面，所述靶材焊接面与所述背板焊接面相贴合设置；
所述靶材焊接面或所述背板焊接面上具有螺纹。
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