[发明专利]用微波等离子体化学气相沉积制备过渡金属磷化物的方法在审
| 申请号： | 201811314450.2 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN109160501A | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 王加瑞;金秋焱;崔浩;吴俊凤 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C01B25/08 | 分类号： | C01B25/08 |
| 代理公司： | 深圳市韦恩肯知识产权代理有限公司 44375 | 代理人： | 李玉平 |
| 地址： | 510080 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用微波等离子体化学气相沉积制备过渡金属磷化物的方法，包括如下步骤：1)将装有次磷酸钠的陶瓷舟和过渡金属的氢氧化物前驱体纳米件一并放到腔体内石墨台上，关闭所述腔体并对所述腔体抽真空；2)向所述腔体通入氮气，调节微波功率，以生成氮等离子体和磷化氢等离子体；3)调节所述氮气的流量，使腔内气压保持在15torr～23torr范围内，待上述的等离子体状态稳定并包裹上述的样品反应0.5min～3min后，结束反应，关闭微波源；4)待所述腔体冷却，取出样品，即得到过渡金属磷化物。本发明制备的过渡金属磷化物纳米粒子粒径小，结晶度高，这提高了其催化性能和可靠性能，利于催化领域的测试与表征，利于研究其电催化特性。 | ||
| 搜索关键词： | 微波等离子体化学气相沉积 过渡金属磷化物 氮气 制备过渡金属 磷化物 腔体 等离子体 氢氧化物前驱体 等离子体状态 氮等离子体 电催化特性 腔体抽真空 次磷酸钠 催化领域 催化性能 过渡金属 可靠性能 气压保持 微波功率 样品反应 结晶度 磷化氢 纳米粒 腔体通 陶瓷舟 微波源 石墨 制备 冷却 取出 体内 测试 研究 | ||
【主权项】：
1.用微波等离子体化学气相沉积制备过渡金属磷化物的方法，其特征在于，包括如下步骤：1)将装有次磷酸钠的陶瓷舟和过渡金属的氢氧化物前驱体纳米件一并放到腔体内石墨台上，关闭所述腔体并对所述腔体抽真空；2)向所述腔体通入氮气，调节微波功率，以生成氮等离子体和磷化氢等离子体；3)调节所述氮气的流量，使腔内气压保持在15torr～23torr范围内，待上述的等离子体状态稳定并包裹上述的样品反应0.5min～3min后，结束反应，关闭微波源；4)待所述腔体冷却，取出样品，即得到过渡金属磷化物。
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