[发明专利]一种金刚石单晶散热片的制备方法

摘要

本发明为一种金刚石单晶散热片的制备方法，解决了目前单晶金刚石化学惰性高、不易焊接等问题。该方法首先使用超声波空蚀仪，以含有Fe3+的盐溶液作为空泡产生介质，对金刚石单晶片表面进行空蚀处理；然后在表面制备一层强碳化物金属内层，接着再制备一层耐氧化外层，最后将制备的金刚石单晶片在高温下进行固溶处理即可。该方法利用空泡急速溃灭爆裂时产生的高速微射流，冲击金刚石单晶表面局部剥落形成微小的孔洞；强碳化物金属原子能够与金刚石表面的部分碳原子反应形成化学键结合；Au与强碳化物金属元素具有良好的固溶度和良好的耐氧化性能。因此，所制备的金刚石单晶散热片不但涂层与基体具有高的结合强度，而且具有良好的耐氧化性能。

主权项

1.一种金刚石单晶散热片的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1）空蚀处理：使用超声波空蚀仪，以含有Fe3+的盐溶液作为空泡产生介质，对金刚石单晶片表面进行空蚀处理，使其表面形成均匀分布的空蚀坑；2）强碳化物金属内层制备：在空蚀处理后的金刚石单晶片表面制备一层强碳化物金属内层，强碳化物金属内层材料采用Cr、Mo或W；3）耐氧化外层制备：在强碳化物金属内层表面制备一层耐氧化外层，耐氧化外层材料采用Au；4）高温处理：在步骤3）的基础上，将制备的金刚石单晶片在高温下进行固溶处理。