[发明专利]用于原位测量MEMS微梁材料的杨氏模量的方法有效
| 申请号： | 201811307552.1 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN109596290B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 朱军华;黄钦文;董显山;恩云飞;刘人怀 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） |
| 主分类号： | G01M5/00 | 分类号： | G01M5/00;G01B11/02;G01B11/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 陈金普 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于原位测量MEMS微梁材料的杨氏模量的方法。提供了一种用于原位测量MEMS微梁材料的杨氏模量的方法，包括：获取MEMS微梁的结构参数、吸合电压、第一固有频率和振型函数；根据结构参数、吸合电压、第一固有频率和振型函数，确定间隙距离的第一估计值；获取施加偏置电压后MEMS微梁的第二高度和第二固有频率；根据结构参数、吸合电压、偏置电压、第二高度、第二固有频率、振型函数以及第一估计值，确定间隙距离的第二估计值；根据MEMS微梁的结构参数、振型函数、第二估计值、第二高度以及吸合电压或第一固有频率，确定MEMS微梁的杨氏模量。上述方法能够在微梁厚度未知的情况下测量微梁材料的杨氏模量，实现杨氏模量的高精度无损原位测量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 原位 测量 mems 材料 杨氏模量 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于原位测量MEMS微梁材料的杨氏模量的方法，其特征在于，所述方法包括：步骤S100，获取所述MEMS微梁的结构参数、吸合电压、第一固有频率和振型函数，所述结构参数包括所述MEMS微梁的长度、宽度和第一高度，其中，所述第一高度和所述第一固有频率分别为未在所述MEMS微梁和所述底部电极之间施加偏置电压时所述MEMS微梁的高度和固有频率，所述高度为所述MEMS微梁的上表面与位于所述MEMS微梁下方的底部电极的上表面之间的距离；步骤S200，根据所述MEMS微梁的结构参数、吸合电压、第一固有频率和振型函数，确定所述MEMS微梁与所述底部电极之间的间隙距离的第一估计值；步骤S300，获取在所述MEMS微梁和所述底部电极之间施加偏置电压后的所述MEMS微梁的第二高度和第二固有频率；步骤S400，根据所述MEMS微梁的结构参数、吸合电压、偏置电压、第二高度、第二固有频率、振型函数以及第一估计值，确定所述间隙距离的第二估计值；步骤S500，根据所述MEMS微梁的结构参数、振型函数、第二估计值、第二高度以及吸合电压或第一固有频率，确定所述MEMS微梁的杨氏模量。
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