[发明专利]一种电容式微机械器件及其操作方法在审
| 申请号： | 201811303385.3 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN109269531A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 张剑锋 | 申请（专利权）人： | 杨荣彬 |
| 主分类号： | G01D5/241 | 分类号： | G01D5/241 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 610100 四川省成都市高*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式微机械器件及其操作方法，包括固定于锚点的机械结构，通过可动电极弹簧固定于可动电极锚点的第一可动电极、第二可动电极，和固定的用于改变第一可动电极、第二可动电极状态的可动电极驱动电极。其中，可动电极弹簧的初始状态中，直量与水平方向呈一个夹角，第一可动电极、第二可动电极与机械结构之间构成了第一检测电容、第二检测电容，二者在机械结构形变的过程中会发生变化，当第一检测电容增大时第二检测电容减小，从而可以实现对机械结构形变的差分检测。本发明还公开了一种电容式微机械器件的操作方法。本发明通过可动电极结构在相同工艺条件下实现更小的检测电容间隙，从而提高检测电容的变化量。 | ||
| 搜索关键词： | 可动电极 机械结构 检测电容 电容 机械器件 第二检测 形变 锚点 差分检测 弹簧固定 电容减小 工艺条件 驱动电极 变化量 固定的 弹簧 | ||
【主权项】：
1.一种电容式微机械器件，其特征在于：包括固定于锚点的机械结构，通过可动电极弹簧固定于可动电极锚点的第一可动电极、第二可动电极，和固定的用于改变第一可动电极、第二可动电极状态的可动电极驱动电极。其中，可动电极弹簧的初始状态中，直量与水平方向呈一个夹角，第一可动电极、第二可动电极与机械结构之间构成了第一检测电容、第二检测电容，二者在机械结构形变的过程中会发生变化，当第一检测电容增大时第二检测电容减小，从而可以实现对机械结构形变的差分检测。
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