[发明专利]一种电容式微机械器件及其操作方法

权利要求书

1.一种电容式微机械器件，其特征在于：包括固定于锚点的机械结构，通过可动电极弹簧固定于可动电极锚点的第一可动电极、第二可动电极，和固定的用于改变第一可动电极、第二可动电极状态的可动电极驱动电极。其中，可动电极弹簧的初始状态中，直量与水平方向呈一个夹角，

第一可动电极、第二可动电极与机械结构之间构成了第一检测电容、第二检测电容，二者在机械结构形变的过程中会发生变化，当第一检测电容增大时第二检测电容减小，从而可以实现对机械结构形变的差分检测。

2.根据权利要求1所述的电容式微机械器件，其特征在于：所述机械结构为谐振器、加速度计或陀螺仪。

3.根据权利要求1所述的电容式微机械器件，其特征在于：所述可动电极弹簧结构为与水平方向呈一定夹角的单端引导直梁。

4.根据权利要求1所述的电容式微机械器件，其特征在于：所述机械结构上设有若干机械结构梳齿，可动电极上设有若干可动电极梳齿。

5.根据权利要求1所述的电容式微机械器件，其特征在于：还包括阻挡块，其中可动电极弹簧变为正常的单端引导直梁，可动电极上设有限位闩。

6.权利要求1所述电容式微机械器件的操作方法，其特征在于：包括以下步骤：

在第一可动电极、第二可动电极与可动电极驱动电极之间的驱动电极间隙两侧施加一定的直流电压，则第一可动电极受到静电力的作用向下运动，第二可动电极受到静电力的作用向上运动；

上述静电力作用下的运动会受到可动电极弹簧的阻碍，则当上述静电力足够大时弹簧会发生压杆失稳从而从大间距稳态变为小间距稳态。

7.根据权利要求6所述的所述电容式微机械器件的操作方法，其特征在于：将可动电极弹簧的形变量设置为1.5um，在大间距稳态时第一检测电容、第二检测电容设置为2um，驱动电极间隙设置为2.5um。