[发明专利]一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法在审
| 申请号： | 201811288286.2 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109545553A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 郭涛;刘昌;吴昊 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H01G4/33 | 分类号： | H01G4/33;H01G4/008;H01G4/012 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 李明娅 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法，具体步骤为：(1)在塑料柔性衬底上转移PS球；(2)利用反应离子束刻蚀技术将步骤(1)中获得的PS球模板进行缩球处理；(3)用热蒸发工艺将金属沉积到步骤(2)中PS球模板上；(4)将步骤(3)中PS球模板去掉，留下金属纳米网，作为透明柔性电容器的底电极；(5)在步骤(4)中制备的金属纳米网状电极上生长高K介质材料作为介质层；(6)重复上述步骤(1‑4)，再将金属纳米网制备在介质层上作为电容器的顶电极；(7)对顶电极进行光刻，湿法刻蚀，得到透明柔性电容器器件。利用本发明方法制备的电容器，在柔性和透光度上均有良好的表现，可用于透明柔性电子器件。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 透明柔性 制备 高品质因子 金属纳米网 顶电极 介质层 反应离子束刻蚀 高K介质材料 电容器器件 电子器件 金属沉积 金属纳米 湿法刻蚀 塑料柔性 网状电极 底电极 热蒸发 透光度 衬底 光刻 可用 生长 重复 表现 | ||
【主权项】：
1.一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法，其特征在在于，包括如下步骤：步骤一、在塑料柔性衬底上转移PS(聚苯乙烯)球，利用其自组装特性获得有序排列的图形作为模板；步骤二、利用反应离子束刻蚀技术将步骤一中获得的PS球模板进行缩球工艺，扩大球与球之间的间隙；步骤三、用热蒸发工艺将金属沉积到步骤二中所获得的缩球处理后的PS球模板上；步骤四、将步骤三中的PS球模板去掉，留下金属纳米网，作为透明柔性电容器的底电极；步骤五、于100～500℃下，在步骤四中制备的金属纳米网状电极上生长高K介质材料作为介质层；步骤六、重复步骤一到四，再将金属纳米网制备在介质层上作为透明柔性电容器的顶电极；步骤七、对步骤六制备的顶电极进行光刻，湿法刻蚀，得到透明柔性电容器器件。
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