[发明专利]一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法

权利要求书

1.一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法，其特征在在于，包括如下步骤：

步骤一、在塑料柔性衬底上转移PS(聚苯乙烯)球，利用其自组装特性获得有序排列的图形作为模板；

步骤二、利用反应离子束刻蚀技术将步骤一中获得的PS球模板进行缩球工艺，扩大球与球之间的间隙；

步骤三、用热蒸发工艺将金属沉积到步骤二中所获得的缩球处理后的PS球模板上；

步骤四、将步骤三中的PS球模板去掉，留下金属纳米网，作为透明柔性电容器的底电极；

步骤五、于100～500℃下，在步骤四中制备的金属纳米网状电极上生长高K介质材料作为介质层；

步骤六、重复步骤一到四，再将金属纳米网制备在介质层上作为透明柔性电容器的顶电极；

步骤七、对步骤六制备的顶电极进行光刻，湿法刻蚀，得到透明柔性电容器器件。

2.如权利要求1所述的一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法，其特征在在于：所述步骤一中塑料柔性衬底为PEN和PET。

3.如权利要求1所述的一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法，其特征在在于：所述步骤二中的PS球直径大小为950～5000nm。

4.如权利要求1所述的一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法，其特征在在于：所述步骤三中的热蒸发的金属材料为Cr、Au、Al、Ag、Cu的一种或几种。

5.如权利要求1所述的一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法，其特征在在于：所述步骤三中的热蒸发的金属厚度为20nm～200nm。

6.如权利要求1所述的一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法，其特征在在于：所述步骤五中的高K介质材料为Al₂O₃、ZrO₂、HfO₂、TiO₂、Y₂O₃的一种或者几种。

7.如权利要求1所述的一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法，其特征在在于：所述步骤五中的介质层的厚度为5nm～50nm。