[发明专利]硅材料线切割液及其制备方法在审
申请号: | 201811282528.7 | 申请日: | 2018-10-31 |
公开(公告)号: | CN109266430A | 公开(公告)日: | 2019-01-25 |
发明(设计)人: | 李文瀚;杨同勇 | 申请(专利权)人: | 三达奥克化学股份有限公司 |
主分类号: | C10M173/02 | 分类号: | C10M173/02 |
代理公司: | 大连非凡专利事务所 21220 | 代理人: | 闪红霞 |
地址: | 116000 辽宁省大连*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明公开一种可保证硅材料切割无线痕、无残留、易冲洗的硅材料切割液,所用原料及质量百分比如下:非离子双子型强效润湿剂5~8%,分子级水性消泡剂3~5%、低泡表面活性剂20~22%及纯水余量。制备方法按照如下步骤进行:在反应釜中加入称量的纯水;依次加入低泡表面活性剂、非离子双子型强效润湿剂、分子级水性消泡剂;启动搅拌器,设定转速为60转/分钟,搅拌至溶液呈无色透明溶液为止。 | ||
搜索关键词: | 硅材料 低泡表面活性剂 水性消泡剂 非离子 分子级 润湿剂 制备 启动搅拌器 质量百分比 纯水余量 线切割液 反应釜 切割液 无残留 称量 冲洗 切割 保证 | ||
【主权项】:
1.一种硅材料切割液,其特征在于所用原料及质量百分比如下:非离子双子型强效润湿剂5~8%,分子级水性消泡剂3~5%、低泡表面活性剂 20~22%及纯水余量。
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