[发明专利]类超晶格锗锑/锌锑纳米相变薄膜及其制备和应用有效
| 申请号： | 201811276861.7 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN109585649B | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 沈波;赵子寒;翟继卫 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;B82Y10/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 31225 上海科盛知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种类超晶格锗锑/锌锑纳米相变薄膜及其制备和应用，该相变薄膜的化学组成为[Ge | ||
| 搜索关键词： | 相变薄膜 薄膜 制备和应用 超晶格 单层 锗锑 环境友好型材料 相变存储器 磁控溅射 复合薄膜 化学组成 热稳定性 数据保持 传统的 激活能 纳秒级 周期数 存储 应用 | ||
【主权项】：
1.一种类超晶格锗锑/锌锑纳米相变薄膜，其特征在于，该相变薄膜的化学组成为[Ge
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