[发明专利]一种提高纳米粒子扫描电子显微镜-能谱面分布空间分辨力的方法在审
| 申请号： | 201811272443.0 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN109459459A | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 陈芳;裘雅渔;丁晓坤;何巧红 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01N23/2206;G01N23/20091 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高纳米粒子扫描电子显微镜‑能谱面分布空间分辨力的方法，包括以下步骤：(1)在覆盖有支持膜的载网上通过湿法超声分散制备纳米粒子单层样品；(2)利用高度可调节支架将载有纳米粒子单层样品的载网架空固定在样品台上；(3)在扫描电镜下选取薄层样品的单层区域，进行能谱测试。本发明的方法一方面制得纳米粒子的薄层样品，另一方面通过导电胶架空薄层样品，入射电子束穿过纳米粒子的薄层样品后，就以透射电子的形式进入到无物质的空间，以减少基底材料特征X射线的干扰，大幅度提高能谱的空间分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米粒子 薄层 能谱 单层 扫描电子显微镜 分布空间 分辨 电子束 高度可调节 空间分辨率 特征X射线 超声分散 基底材料 架空固定 扫描电镜 透射电子 导电胶 支持膜 入射 湿法 支架 制备 架空 测试 穿过 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种提高纳米粒子扫描电子显微镜‑能谱面分布空间分辨力的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)在覆盖有支持膜的载网上通过湿法超声分散制备纳米粒子单层样品；(2)利用高度可调节支架将载有纳米粒子单层样品的载网架空固定在样品台上；(3)在扫描电镜下选取薄层样品的单层区域，进行能谱测试。
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