[发明专利]一种环保型光致抗蚀剂的制备方法在审
| 申请号： | 201811262049.9 | 申请日： | 2018-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN109358473A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 牛杰 | 申请（专利权）人： | 嘉兴市海德姆智能电气有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/028 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314019 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种环保型光致抗蚀剂的制备方法，包括以下步骤：将3‑氨基苯酚与磷酸搅拌混合均匀，缓慢滴加乙酰乙酸乙酯，升温搅拌，冷凝回流，反应；经过滤纸在漏斗中过滤，洗涤；干燥得产物A；将产物A和四氢呋喃混合加热，冷凝回流，搅拌；降温，滴加丙烯酰氯，滴加完成后充入氮气，搅拌反应；加入去离子水，析出白色固体，洗涤；干燥得产物B；将产物B、贯叶连翘碱、丙烯酸酐、N‑乙酰半胱氨酸、酪蛋白、二硫苏糖醇、苯偶酰双甲醚和乙醇混合，在黑暗环境中搅拌均匀，过滤除去滤渣即得环保型光致抗蚀剂。本法所制备的环保型光致抗蚀剂的的透光率高，透光率性好，有助于应用，同时图形对比度高，分辨率佳，具有很好的光刻效果。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 环保型 制备 干燥得产物 冷凝回流 滴加 洗涤 过滤 氮气 乙酰半胱氨酸 乙酰乙酸乙酯 二硫苏糖醇 图形对比度 氨基苯酚 丙烯酸酐 贯叶连翘 黑暗环境 缓慢滴加 混合加热 搅拌反应 去离子水 升温搅拌 四氢呋喃 乙醇混合 甲醚 析出 丙烯酰 酪蛋白 透光率 透光 分辨率 磷酸 光刻 滤渣 滤纸 漏斗 应用 | ||
【主权项】：
1.一种环保型光致抗蚀剂的制备方法，其特征在于：成分按重量份计，包括以下步骤：(1)将1‑2份3‑氨基苯酚与10‑20份磷酸搅拌混合均匀，缓慢滴加1‑2份乙酰乙酸乙酯，滴加时间为15min，升温至95‑100℃，搅拌，冷凝回流，反应2‑2.5h；(2)经过滤纸在漏斗中过滤，用去离子水洗涤3‑5次；(3)转移至真空干燥箱内，在60‑70℃下干燥8‑9h得产物A；(4)将0.45‑0.9份产物A和10‑20份四氢呋喃混合加热至60‑65℃，冷凝回流，搅拌30min；(5)降温至0℃，滴加0.6‑1.2份丙烯酰氯，滴加完成后充入氮气，搅拌反应1.5‑2h；(6)加入去离子水，析出白色固体，用去离子水洗涤3‑5次；(7)转移至真空干燥箱内，在60‑70℃下干燥8‑9h得产物B；(8)将24‑26份产物B、2‑3份贯叶连翘碱、23‑25份丙烯酸酐、20‑25份N‑乙酰半胱氨酸、10‑13份酪蛋白、15‑18份二硫苏糖醇、2.8‑3.2份苯偶酰双甲醚和20‑30份乙醇混合，在黑暗环境中搅拌均匀，过滤除去滤渣即得环保型光致抗蚀剂。
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