[发明专利]一种环保型光致抗蚀剂的制备方法在审
| 申请号： | 201811262049.9 | 申请日： | 2018-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN109358473A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 牛杰 | 申请（专利权）人： | 嘉兴市海德姆智能电气有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/028 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314019 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 环保型 制备 干燥得产物 冷凝回流 滴加 洗涤 过滤 氮气 乙酰半胱氨酸 乙酰乙酸乙酯 二硫苏糖醇 图形对比度 氨基苯酚 丙烯酸酐 贯叶连翘 黑暗环境 缓慢滴加 混合加热 搅拌反应 去离子水 升温搅拌 四氢呋喃 乙醇混合 甲醚 析出 丙烯酰 酪蛋白 透光率 透光 分辨率 磷酸 光刻 滤渣 滤纸 漏斗 应用 | ||
1.一种环保型光致抗蚀剂的制备方法，其特征在于：成分按重量份计，包括以下步骤：
(1)将1-2份3-氨基苯酚与10-20份磷酸搅拌混合均匀，缓慢滴加1-2份乙酰乙酸乙酯，滴加时间为15min，升温至95-100℃，搅拌，冷凝回流，反应2-2.5h；
(2)经过滤纸在漏斗中过滤，用去离子水洗涤3-5次；
(3)转移至真空干燥箱内，在60-70℃下干燥8-9h得产物A；
(4)将0.45-0.9份产物A和10-20份四氢呋喃混合加热至60-65℃，冷凝回流，搅拌30min；
(5)降温至0℃，滴加0.6-1.2份丙烯酰氯，滴加完成后充入氮气，搅拌反应1.5-2h；
(6)加入去离子水，析出白色固体，用去离子水洗涤3-5次；
(7)转移至真空干燥箱内，在60-70℃下干燥8-9h得产物B；
(8)将24-26份产物B、2-3份贯叶连翘碱、23-25份丙烯酸酐、20-25份N-乙酰半胱氨酸、10-13份酪蛋白、15-18份二硫苏糖醇、2.8-3.2份苯偶酰双甲醚和20-30份乙醇混合，在黑暗环境中搅拌均匀，过滤除去滤渣即得环保型光致抗蚀剂。
2.根据权利要求1所述的一种环保型光致抗蚀剂的制备方法，其特征在于：所述贯叶连翘碱的提取工艺为：
第一步：取贯叶连翘全草，干燥后粉碎过40目筛；
第二步：取加入纤维素酶，在温度45℃、pH4.5下进行酶解50min，其中纤维素酶的加入量为2mg/g贯叶连翘全草粉；
第三步：加入8倍贯叶连翘全草粉质量的60％乙醇水溶液进行回流提取60min，重复2次，合并提取液；
第四步：减压蒸馏后冷冻干燥即得。
3.根据权利要求1所述的一种环保型光致抗蚀剂的制备方法，其特征在于：所述的步骤(1)中升温至98℃。
4.根据权利要求1所述的一种环保型光致抗蚀剂的制备方法，其特征在于：所述的步骤(4)中加热至63℃。
5.根据权利要求1所述的一种环保型光致抗蚀剂的制备方法，其特征在于：所述步骤(8)中产物B为25份、丙烯酸酐为25份、N-乙酰半胱氨酸为23份、酪蛋白为12份、二硫苏糖醇为16.5份、苯偶酰双甲醚为3份、乙醇为25份。
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