[发明专利]半导体冷冻吸盘

摘要

本发明公开了一种半导体冷冻吸盘，包括底座，底座呈中空结构且内置有安装板，安装板开设有多个圆孔和长形孔。安装板上自下而上依次设置有散热盘、半导体组合片和导冷板。散热盘内开设有液体循环通道，圆孔和长形孔连通液体循环通道。半导体组合片包括第一半导体和第二半导体，第一半导体和第二半导体间隔设置且材料不同。导冷板的上表面形成有多个储液槽，储液槽中容置有连接介质。本发明实施方式中的半导体冷冻吸盘利用帕尔贴效应，通过储水式导冷板将冷量传递到连接介质上，连接介质固化成冰固定住待固定的元件，实现无应力夹持，减少脆性材料塌边的现象，提高了元件加工质量。

主权项

1.一种半导体冷冻吸盘，其特征在于，包括底座，所述底座呈中空结构且内置有安装板，所述安装板开设有多个圆孔和长形孔，所述安装板上自下而上依次设置有散热盘、半导体组合片和导冷板，所述散热盘内开设有液体循环通道，所述圆孔和所述长形孔连通所述液体循环通道，所述半导体组合片包括第一半导体和第二半导体，所述第一半导体和所述第二半导体间隔设置且材料不同，所述导冷板的上表面形成有多个储液槽，所述储液槽中容置有连接介质。