[发明专利]一种等离子体工艺方法有效
| 申请号： | 201811218801.X | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN109273341B | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 黄亚辉;韦刚;卫晶;李娟娟;陈国动;杨京 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种等离子体工艺方法，利用至少一对主电源与从电源激发等离子体；其中，所述等离子体工艺方法包括：至少一个工艺步骤；每个所述工艺步骤分为多个时段，每个所述时段将所述至少一对主电源与从电源的共同激励锁相角度维持在一预定值，以提高所述等离子体的角向分布均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 工艺 方法 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体工艺方法，利用至少一对主电源与从电源激发等离子体；其中，所述等离子体工艺方法包括：至少一个工艺步骤；每个所述工艺步骤分为多个时段，每个所述时段将所述至少一对主电源与从电源的共同激励锁相角度维持在一预定值，以提高所述等离子体的角向分布均匀性。
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