[发明专利]一种窗口层表面粗化的发光二极管及其制作方法有效
| 申请号： | 201811213828.X | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN109346571B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 赵鹏;杭伟;王洪占;徐洲;李波 | 申请（专利权）人： | 扬州乾照光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 225101 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种窗口层表面粗化的发光二极管及其制作方法，通过在窗口层的表面形成多个颗粒状的凸起作为掩膜，以对窗口层的表面进行腐蚀时只能对凸起未覆盖的区域进行腐蚀，而无需对窗口层的整个表面进行腐蚀，保证窗口层的表层重掺杂结构受到破坏程度较小的基础上，得到表面粗化的窗口层，保证发光二极管的可靠性高。同时，在掩膜层变换为多个颗粒状的凸起的过程中，反应腔的温度呈升温控制，以在较低温度时给掩膜层提供一预热温度，而后在升温为高温时掩膜层能够快速的变换为多个凸起，提高制程效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 窗口 表面 发光二极管 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种窗口层表面粗化的发光二极管的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：在一衬底的一侧表面依次叠加形成布拉格反射镜层、第一掺杂类型限制层、MQW有源层、第二掺杂类型限制层和窗口层；在所述窗口层背离所述衬底一侧形成掩膜层；对反应腔内的温度进行升温控制，以使所述掩膜层变换为多个颗粒状的凸起，并对所述窗口层未被所述凸起覆盖区域进行腐蚀，且去除所述凸起得到表面粗化的所述窗口层；在所述窗口层背离所述衬底一侧形成第一电极，且在所述衬底背离所述窗口层一侧形成第二电极。
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