[发明专利]一种立式的PECVD复合PVD的真空镀膜系统在审
| 申请号： | 201811209769.9 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109055911A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 李宏霞;张克伟;林朝宗;谢倩 | 申请（专利权）人： | 苏州善柔电气自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;C23C16/54;C23C16/513;C23C28/00 |
| 代理公司： | 苏州科仁专利代理事务所(特殊普通合伙) 32301 | 代理人： | 周斌;陆彩霞 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种立式的PECVD复合PVD的真空镀膜系统，包括依次紧密连接的进料腔、预热腔，镀膜腔、缓冲腔和出料腔，进料腔和出料腔处于大气环境中，预热腔、镀膜腔和缓冲腔均连接有真空抽气系统，镀膜腔的顶部焊接有轨道，轨道内套接有基材架，基材架上通过挂钩挂有基板，基板的底部位于传送带上，传送带通过传动滚轮连接于镀膜腔的底部。解决了现有技术中存在的镀膜装置所镀薄膜的均匀性差及离化率底下的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜腔 真空镀膜系统 传送带 出料腔 缓冲腔 基材架 进料腔 预热腔 基板 复合 真空抽气系统 传动滚轮 大气环境 镀膜装置 紧密连接 均匀性差 轨道 离化 内套 薄膜 焊接 挂钩 | ||
【主权项】：
1.一种立式的PECVD复合PVD的真空镀膜系统，包括依次紧密连接的进料腔（1）、预热腔（2），镀膜腔（3）、缓冲腔（4）和出料腔（5），其特征在于，所述进料腔（1）和出料腔（5）处于大气环境中，所述预热腔（2）、镀膜腔（3）和缓冲腔（4）均连接有真空抽气系统（11），所述镀膜腔（3）的顶部焊接有轨道（6），所述轨道（6）内套接有基材架（7），所述基材架（7）上通过挂钩（8）挂有基板（9），所述基板（9）的底部位于传送带（10）上，所述传送带（10）通过传动滚轮连接于镀膜腔（3）的底部。
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