[发明专利]静电吸盘的制造方法及静电吸盘

摘要

本发明公开了一种适用于大面积基板上使用而且容易制造的静电吸盘及其制造方法。该静电吸盘具有在底面(1)上形成有第一电介质层(10’)和第二电介质层(20’)且在该电介质层(10’、20’)之间制备有电极图案(40)的结构。电介质层(10’、20’)是液态树脂的硬化层。支撑基板的第二电介质层(20’)上制备有缓冲层(50)。本发明提供的静电吸盘的结构十分简单，制造工艺简化，可明显地缩短制造时间。

主权项

1.一种静电吸盘的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：a)沿着底面的上部面边缘设置第一坝的步骤，基于第一坝而围成的底面的上部被规定为第一区域；b)向所述第一区域提供第一液态树脂并在底面上涂布第一液态树脂及进行硬化的步骤；c)对硬化的所述第一液态树脂的上部面进行平坦加工，并形成第一电介质层的步骤；d)在所述第一电介质层上形成电极图案的步骤；e)沿着所述第一电介质层的边缘设置第二坝的步骤，基于第二坝而围成的第一电介质层上部被规定为第二区域；f)向所述第二区域提供第二液态树脂并在第一电介质层上涂布第二液态树脂及进行硬化的步骤；以及g)对硬化的所述第二液态树脂的上部面进行平坦加工，并形成第二电介质层的步骤。