[发明专利]用来控制系统内的过程的方法和装置，特别是研磨装置内的研磨过程有效
| 申请号： | 201811202741.2 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109696829B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 马丁·翁 | 申请（专利权）人： | AIX制程有限公司 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04 |
| 代理公司： | 北京京万通知识产权代理有限公司 11440 | 代理人： | 万学堂 |
| 地址： | 德国阿方*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种控制系统内的过程的方法及其装置，该方法特别是研磨装置内的研磨过程，包括如下步骤：‑检测1系统的状态变量(s |
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| 搜索关键词： | 用来 控制系统 过程 方法 装置 特别是 研磨 | ||
【主权项】：
1.控制系统内的过程的方法，特别是研磨装置内的研磨过程，包括如下步骤：‑检测(1)所述系统的状态变量(st)；‑创建(2)至少两个过程模型(PM)，每个模型均描述了执行动作对所述系统的所述状态变量(st)的影响，所述至少两个过程模型(PM)的结构彼此不同；‑根据预定控制目标和所述过程模型，通过实施执行动作(at)来控制(3)所述系统内的所述过程，此时，该过程模型对在所述系统内运行的所述过程的预测结果最为精确。
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