[发明专利]用来控制系统内的过程的方法和装置，特别是研磨装置内的研磨过程

权利要求书

1.控制系统内的过程的方法，应用于研磨装置内的研磨过程，包括如下步骤：

-检测(1)所述系统的状态变量(s_t)；

-创建(2)至少两个过程模型(PM)，每个模型均描述了执行动作对所述系统的所述状态变量(s_t)的影响，所述至少两个过程模型(PM)的结构彼此不同；

-根据预定控制目标和所述过程模型，通过实施执行动作(a_t)来控制(3)所述系统内的所述过程，此时，该过程模型对在所述系统内运行的所述过程的预测结果最为精确；

-所述系统的相似状态变量(s_t)被组合在一起，以及其中，为每组制作至少一个过程模型(PM)，其中，如果所述系统的状态变量(s_t)被检测到而尚未归入任一组时，创建新组和新的过程模型；

将系统的相似状态变量(s_t)组合一起的方式采用自学习和自寻优方式，并且考虑成本函数，这些函数将系统状态变量(s_t)的分组成本与创建新组的成本进行比较。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，通过所述研磨装置传感器或人工和/或自动试样评定方式来检测(1)所述状态变量(s_t)。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述至少两个过程模型(PM)通过执行动作(a_t)对所述研磨装置的所述状态变量(s_t)的影响来持续被适用。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述至少两个过程模型(PM)通过所述研磨装置试运行和/或采用专家知识来创建(2)。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述研磨装置试运行具体为示范性实施执行动作(a_t)。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述至少两个过程模型(PM)均通过基于计算机的神经网络来创建，被持续适用。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述至少两个过程模型(PM)均考虑执行动作(a_t+1)对研磨装置的所述状态变量(s_t+1)的几个假定未来影响。

8.根据权利要求1至7任一项所述的方法，进一步包括如下步骤：

-通过质量函数(u_t)创建态势评估(SB)，该函数根据所述控制目标对所述状态变量(s_t)进行评估，其中，所述质量函数(u_t)通过统计方法来建立；以及

-决定当前是否需要控制以便使所述状态变量(s_t)适于所述控制目标。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述统计方法具体为AI方法或根据模糊逻辑规则。

10.根据权利要求7所述的方法，其中，提前分几个时间步长计算不同执行动作(a_t)对所述状态变量(s_t)的影响并对整体质量(Q)进行评定。

11.根据权利要求1至7任一项所述的方法，其中，所述方法被实时执行以控制所述系统内的所述过程。

12.根据权利要求1至7任一项所述的方法，其中，所述至少两个过程模型(PM)的至少一个基于数值流体力学的方法和/或所述至少两个过程模型(PM)在自动选择和/或优化过程的框架内基于进化策略、遗传算法、遗传编程或进化编程或进行训练。

13.用来实施根据权利要求1至12其中一项所述方法的装置，包括采用传感器控制以检测状态变量(s_t)的研磨装置，用来完成执行动作(a_t)的执行装置和连接到所述研磨装置上的控制装置。

14.根据权利要求13所述的装置，其中，所述控制装置具体为计算装置。