[发明专利]一种集成衍射光栅式高稳定性激光位移传感器在审
| 申请号： | 201811199026.8 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN109141254A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 叶国永;刘红忠;许正宸;雷彪;刘晓辉 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 段俊涛 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成衍射光栅式高稳定性激光位移传感器，包括传感器本体，所述传感器本体内含有激光二极管的准直模块、衍射光栅、光阑、滤光片、成像透镜和CMOS线性图像传感器。该激光位移传感器的激光二极管准直模块发出准直光束，光束经过被测物表面漫反射，通过光阑和成像透镜之后，经过特制的透射式衍射光栅将光斑分束成多个衍射光斑，分别利用各个衍射光斑反求被测物的位移，通过将解算的多个位移数据进行平均或取中位值处理，即可获得被测物的实际位移。此发明与传统激光三角测距传感器相比，在测量一次位移的情况下，利用多个衍射光斑的信息解算被测物位移，减小了噪声等环境因素的影响，从而有效提高测量数据的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 激光位移传感器 衍射光斑 衍射光栅 被测物 传感器本体 激光二极管 成像透镜 高稳定性 准直模块 光阑 解算 三角测距传感器 透射式衍射光栅 线性图像传感器 被测物表面 光斑 测量数据 传统激光 环境因素 实际位移 位移数据 准直光束 滤光片 漫反射 反求 分束 减小 中位 噪声 测量 | ||
【主权项】：
1.一种集成衍射光栅式激光位移传感器，包括传感器本体(10)，所述传感器本体(10)内设有激光二极管(1)和准直透镜(2)、光阑(3)、滤光片(6)、成像透镜(7)、衍射光栅(8)和CMOS线性图像传感器(9)，其特征在于，所述激光二极管(1)经过准直透镜(2)发射准直激光束(4)，该激光束经过光阑(3)之后，投射于传感器本体外的样品(5)表面，样品(5)表面产生的漫反射光经过滤光片(6)和成像透镜(7)，再经衍射光栅(8)衍射成多个衍射光斑，投射在CMOS线性图像传感器(9)上。
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