[发明专利]一种刻蚀机腔体的内腔真空烘烤除气热板在审
| 申请号： | 201811195847.4 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN109273340A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 游利 | 申请（专利权）人： | 靖江先锋半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 靖江市靖泰专利事务所 32219 | 代理人： | 陆平 |
| 地址： | 214500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种刻蚀机腔体的内腔真空烘烤除气热板，设置在内腔的外表面，包括热板主体；所述的热板主体上配合设置有热板盖板，铠装加热管设置在热板盖板与热板主体之间并通过连接件与热板主体相连接固定，所述的热板盖板的外侧还设置有装饰盖板，热板主体、热板盖板及装饰盖板上相对应的位置均设置有孔a,孔b，孔c；热电偶依次穿过装饰盖板、热板盖板及热板主体，设置在孔a与孔b之间；本发明结构简单,在发给客户端前进行烘烤，不会占用生产时间,可以显著降低ICP刻蚀机腔体的出气率,有效去除吸附各种气体,组装后无需再现场烘烤就可以获得较高的极限真空,大大提高生产效率；避免释放气体而降低真空度，稳定性好，使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 热板 热板主体 盖板 装饰盖板 腔体 真空烘烤 刻蚀机 烘烤 除气 内腔 极限真空 连接固定 配合设置 生产效率 使用寿命 出气 加热管 客户端 连接件 热电偶 去除 吸附 铠装 组装 穿过 占用 释放 生产 | ||
【主权项】：
1.一种刻蚀机腔体的内腔真空烘烤除气热板，其特征在于：设置在内腔（6）的外表面，包括热板主体（1）；所述的热板主体（1）上配合设置有热板盖板（3），铠装加热管（2）设置在热板盖板（3）与热板主体（1）之间并通过连接件与热板主体（1）相连接固定，所述的热板盖板（3）的外侧还设置有装饰盖板（5），热板主体（1）、热板盖板（3）及装饰盖板（5）上相对应的位置均设置有孔a（8）,孔b（9），孔c（10）；热板盖板（3）表面设置有若干个连接孔a（11），装饰盖板（5）设置有若干个连接孔b（12）；热电偶（4）依次穿过装饰盖板（5）、热板盖板（3）及热板主体（1），设置在孔a（8）与孔b（9）之间。
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