[发明专利]一种刻蚀机腔体的内腔真空烘烤除气热板

权利要求书

1.一种刻蚀机腔体的内腔真空烘烤除气热板，其特征在于：设置在内腔（6）的外表面，包括热板主体（1）；所述的热板主体（1）上配合设置有热板盖板（3），铠装加热管（2）设置在热板盖板（3）与热板主体（1）之间并通过连接件与热板主体（1）相连接固定，所述的热板盖板（3）的外侧还设置有装饰盖板（5），热板主体（1）、热板盖板（3）及装饰盖板（5）上相对应的位置均设置有孔a（8）,孔b（9），孔c（10）；热板盖板（3）表面设置有若干个连接孔a（11），装饰盖板（5）设置有若干个连接孔b（12）；热电偶（4）依次穿过装饰盖板（5）、热板盖板（3）及热板主体（1），设置在孔a（8）与孔b（9）之间。

2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机腔体的内腔真空烘烤除气热板，其特征在于：所述的铠装加热管（2）两端设置为迂回形，中间段设置为对称的凹凸形。

3.根据权利要求2所述的一种刻蚀机腔体的内腔真空烘烤除气热板，其特征在于：所述的铠装加热管（2）的弯折处圆滑过渡。

4.根据权利要求1所述的一种刻蚀机腔体的内腔真空烘烤除气热板，其特征在于：所述的热板盖板（3）与热板主体（1）之间通过螺钉相连接固定。

5.根据权利要求1所述的一种刻蚀机腔体的内腔真空烘烤除气热板，其特征在于：所述的装饰盖板（5）与热板盖板（3）之间通过螺钉相连接固定。

6.根据权利要求1所述的一种刻蚀机腔体的内腔真空烘烤除气热板，其特征在于：所述的连接孔a（11）与连接孔b（12）的位置交错开。