[发明专利]基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备在审
| 申请号： | 201811188865.X | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN109182980A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 骆俊 | 申请（专利权）人： | 骆俊 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/54;C23C14/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 317500 浙江省台*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，包括智能激光发射器、一驱动机构、三个第一反射镜、真空室、三个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积形成复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述三个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，真空室设置有通光部，所述智能激光发射器与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述智能激光发射器连接以驱动所述智能激光发射器沿着预设直线移动，使得所述智能激光发射器发出的激光选择性地射入至所述三个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处。 | ||
| 搜索关键词： | 智能激光 反射镜 发射器 固定平台 复合材料 真空室 超声波检测 沉积设备 驱动机构 通光部 智能化 射入 发射器连接 激光选择 预设夹角 预设区域 直线移动 源材料 靶材 预设 沉积 激光 室内 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种基于超声波检测的智能化复合材料沉积设备，其特征在于，包括主控板、超声波厚度检测组件、智能激光发射器、一驱动机构、三个第一反射镜、真空室、三个用于固定不同的源材料靶材的第一固定平台以及用于沉积形成复合材料的基片；所述第一固定平台以及基片均设置于所述真空室内，所述三个第一固定平台分别与所述基片的预设区域相对，所述真空室设置有通光部，所述智能激光发射器与所述第一反射镜的出光方向呈预设夹角；所述驱动机构与所述智能激光发射器连接以驱动所述智能激光发射器沿着预设直线移动，使得所述智能激光发射器发出的激光选择性地射入至所述三个第一反射镜中的一个第一反射镜，所述第一反射镜用于将激光通过所述通光部射入所述真空室中的对应所述第一固定平台处；所述主控板与所述智能激光发射器、所述三个驱动机构以及所述超声波厚度检测组件分别通信连接，所述超声波厚度检测组件将检测到的厚度分布信息上传给所述主控板，所述主控板根据所述厚度分布信息控制所述智能激光发射器的发射功率，并在完成对一个基片的沉积操作后，控制所述驱动机构驱动所述智能激光发射器沿着预设直线移动，使得所述智能激光发射器发出的激光选择性地射入至所述三个第一反射镜中的一个第一反射镜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于骆俊，未经骆俊许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811188865.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
